Polvo de nitruro de silicio

(Polvo de nitruro de silicio)

El polvo de nitruro de silicio es un sólido blanco de alto punto de fusión, químicamente inerte y termodinámicamente estable. Es un material importante para una amplia gama de aplicaciones que requieren excelentes propiedades mecánicas a temperatura ambiente y alta temperatura, resistencia a la oxidación y resistencia a la fluencia.

Conocido por su excepcional dureza y resistencia, el polvo de Si₃N₄ es un material ideal para aplicaciones mecánicas que exigen una resistencia extrema con baja expansión térmica y una larga vida útil. Su combinación única de propiedades lo convierte en una cerámica muy solicitada para su uso en cojinetes, álabes de turbinas y otros componentes estructurales.

El polvo cerámico técnico SINX STX-100 (Si₃N₄) es una de las cerámicas técnicas más avanzadas y precisas del mercado. Ofrece la mejor combinación de propiedades mecánicas, térmicas y eléctricas de cualquier cerámica de su clase.

Denso y resistente, posee la mayor tenacidad a la fractura de cualquier cerámica tecnológica. Además, es resistente a la abrasión y la corrosión, lo que lo convierte en una excelente opción para aplicaciones que requieren cargas pesadas y entornos hostiles.

El Si₃N₄ es una capa de pasivación popular en la industria de semiconductores debido a su menor resistencia a la difusión del agua y los iones alcalinos que el dióxido de silicio. Además, es un excelente dieléctrico y conductor térmico.

La superficie de Si₃N₄ se graba típicamente con un plasma de flúor. Los plasmas basados ​​en SF₂, CF₃ y CHF₃ son de uso común. Los plasmas basados ​​en SF₂ ofrecen la ventaja de una velocidad de grabado muy rápida, lo cual resulta especialmente útil para superficies de Si₃ anisotrópicas.

La suspensión utilizada para el grabado en SiN CMP debe ser altamente selectiva para minimizar la eliminación de óxido y mantener una buena uniformidad en la escala de la oblea. Esto requiere una tasa de eliminación de SiN muy baja, lo que idealmente se logra mediante el uso de una suspensión de nitruro altamente selectiva.

(Polvo de nitruro de silicio)