Silikoninitridijauhe

(Pii-nitridijauhe)

Piinitridijauhe on valkoinen, korkean sulamispisteen kiinteä aine, joka on kemiallisesti inertti ja termodynaamisesti stabiili. Se on tärkeä materiaali monenlaisiin sovelluksiin, jotka vaativat erinomaisia ​​huoneenlämpötilan ja korkeiden lämpötilojen mekaanisia ominaisuuksia, hapettumisenkestävyyttä ja virumisenkestävyyttä.

Erinomaisesta kovuudestaan ​​ja lujuudestaan ​​tunnettu si3n4-jauhe on ihanteellinen materiaali mekaanisiin sovelluksiin, jotka vaativat äärimmäistä lujuutta, alhaista lämpölaajenemista ja pitkää käyttöikää. Sen ainutlaatuinen ominaisuuksien yhdistelmä tekee siitä erittäin halutun keraamisen käytettäväksi laakereissa, turbiinien siivissä ja muissa rakenneosissa.

SINX STX-100 TECHNICAL CERAMIC (Si3N4) POWDER on yksi edistyneimmistä ja tarkimmista teknisistä keramiioista, joita on saatavilla nykyään. Se tarjoaa parhaan mekaanisten, lämpö- ja sähköominaisuuksien yhdistelmän minkä tahansa luokassaan keramiikan kanssa.

Tiheä ja vahva, sillä on teknologisista keramiioista korkein murtolujuus. Se on myös kulutusta ja korroosiota kestävä, joten se on loistava valinta sovelluksiin, joihin liittyy raskaita kuormia ja ankaria ympäristöjä.

Si3N4 on suosittu passivointikerros puolijohdeteollisuudessa, koska sillä on pienempi diffuusiovastus vettä ja alkali-ioneja vastaan ​​kuin piidioksidilla. Se on myös erittäin hyvä dielektrisyys ja erinomainen lämmönjohdin.

Si3N4:n pinta syövytetään tyypillisesti fluoriplasmalla. Yleisesti käytetään SF6-, CF4- ja CHF3-pohjaisia ​​plasmaa. SF6-pohjaisten plasman etuna on erittäin nopea etsausnopeus, mikä on erityisen hyödyllistä anisotrooppisille SiN-pinnoille.

SiN CMP:ssä syövytykseen käytetyn lietteen on oltava erittäin selektiivistä oksidinpoiston minimoimiseksi ja hyvän kiekkojen epätasaisuuden säilyttämiseksi. Tämä vaatii erittäin alhaisen SiN-poistonopeuden ja saavutetaan ihanteellisesti käyttämällä erittäin selektiivistä nitridilietettä.

(Pii-nitridijauhe)