Silicij nitrid u prahu

(Silicij nitrid u prahu)

Prah silicijevog nitrida bijela je krutina s visokim talištem koja je kemijski inertna i termodinamički stabilna. To je važan materijal za širok raspon primjena koje zahtijevaju izvrsna mehanička svojstva pri sobnoj temperaturi i visokim temperaturama, otpornost na oksidaciju i otpornost na puzanje.

Poznat po svojoj izvanrednoj tvrdoći i snazi, si3n4 prah je idealan materijal za mehaničke primjene koje zahtijevaju ekstremnu čvrstoću s malim toplinskim širenjem i dugim vijekom trajanja. Njegova jedinstvena kombinacija svojstava čini ga vrlo poželjnom keramikom za upotrebu u ležajevima, lopaticama turbina i drugim strukturnim komponentama.

SINX STX-100 TEHNIČKA KERAMIKA (Si3N4) POWDER je jedna od najnaprednijih i najpreciznijih tehničkih keramika dostupnih danas. Nudi najbolju kombinaciju mehaničkih, toplinskih i električnih svojstava od bilo koje keramike u svojoj klasi.

Gusta i jaka, posjeduje najveću otpornost na lom od bilo koje tehnološke keramike. Također je otporan na abraziju i koroziju, što ga čini odličnim izborom za primjene koje uključuju velika opterećenja i teške uvjete rada.

Si3N4 je popularan pasivizacijski sloj u industriji poluvodiča jer ima niži difuzijski otpor prema vodi i alkalijskim ionima nego silicijev dioksid. Također je vrlo dobar dielektrik i odličan vodič topline.

Površina Si3N4 obično je urezana pomoću fluorne plazme. Obično se koriste plazme na bazi SF6, CF4 i CHF3. Plazme na bazi SF6 imaju prednost vrlo velike brzine jetkanja, što je posebno korisno za anizotropne SiN površine.

Mulj koji se koristi za jetkanje u SiN CMP mora biti visoko selektivan kako bi se minimiziralo uklanjanje oksida i održala dobra neujednačenost naslaga pločice. To zahtijeva vrlo nisku stopu uklanjanja SiN i idealno se postiže upotrebom visoko selektivne kaše nitrida.

(Silicij nitrid u prahu)