Bubuk silikon nitrida

(Serbuk Silikon Nitrida)

Bubuk silikon nitrida adalah padatan berwarna putih dengan titik leleh tinggi yang secara kimia inert dan stabil secara termodinamik. Bubuk ini merupakan material penting untuk berbagai aplikasi yang membutuhkan sifat mekanik yang sangat baik pada suhu ruangan dan suhu tinggi, ketahanan terhadap oksidasi dan ketahanan terhadap mulur.

Dikenal karena kekerasan dan kekuatannya yang luar biasa, serbuk si3n4 merupakan material ideal untuk aplikasi mekanis yang menuntut kekuatan ekstrem dengan ekspansi termal rendah dan masa pakai yang lama. Kombinasi sifat-sifatnya yang unik menjadikannya keramik yang sangat diminati untuk digunakan dalam bantalan, bilah turbin, dan komponen struktural lainnya.

Serbuk Keramik Teknis SINX STX-100 (Si3N4) merupakan salah satu keramik teknis tercanggih dan paling presisi yang tersedia saat ini. Keramik ini menawarkan kombinasi terbaik dari sifat mekanik, termal, dan listrik dari semua keramik di kelasnya.

Padat dan kuat, keramik ini memiliki ketahanan fraktur tertinggi dari semua keramik teknologi. Keramik ini juga tahan terhadap abrasi dan korosi, sehingga menjadi pilihan yang tepat untuk aplikasi yang melibatkan beban berat dan lingkungan yang keras.

Si3N4 merupakan lapisan pasivasi yang populer dalam industri semikonduktor karena memiliki ketahanan difusi yang lebih rendah terhadap air dan ion alkali dibandingkan silikon dioksida. Lapisan ini juga merupakan dielektrik yang sangat baik dan konduktor termal yang sangat baik.

Permukaan Si3N4 biasanya terukir menggunakan plasma fluorin. Plasma berbasis SF6, berbasis CF4, dan berbasis CHF3 umumnya digunakan. Plasma berbasis SF6 memiliki keunggulan berupa laju etsa yang sangat cepat, yang khususnya berguna untuk permukaan SiN anisotropik.

Bubur yang digunakan untuk etsa dalam SiN CMP harus sangat selektif untuk meminimalkan penghilangan oksida dan menjaga ketidakseragaman kerak wafer. Hal ini memerlukan laju penghilangan SiN yang sangat rendah dan idealnya dicapai melalui penggunaan bubur nitrida yang sangat selektif.

(Serbuk Silikon Nitrida)