Цахиурын нитридын нунтаг

(Цахиурын нитридын нунтаг)

Цахиурын нитридын нунтаг нь цагаан өнгөтэй, өндөр хайлах цэгтэй хатуу бодис бөгөөд химийн хувьд идэвхгүй, термодинамикийн хувьд тогтвортой байдаг. Өрөөний маш сайн температур, өндөр температурын механик шинж чанар, исэлдэлтийн эсэргүүцэл, мөлхөх эсэргүүцлийг шаарддаг өргөн хүрээний хэрэглээний чухал материал юм.

Гайхамшигтай хатуулаг, бат бөх чанараараа алдартай si3n4 нунтаг нь дулааны тэлэлт багатай, удаан эдэлгээтэй, хэт хүч чадал шаарддаг механик хэрэглээнд тохиромжтой материал юм. Түүний өвөрмөц хосолсон шинж чанар нь холхивч, турбины ир болон бусад бүтцийн эд ангиудад ашиглахад маш их хэрэгцээтэй керамик болгодог.

SINX STX-100 TECHNICAL CERAMIC (Si3N4) POWDER нь өнөөгийн хамгийн дэвшилтэт, нарийн техникийн керамикуудын нэг юм. Энэ нь ангиллын бүх керамикийн механик, дулаан, цахилгаан шинж чанаруудын хамгийн сайн хослолыг санал болгодог.

Нягт, бат бөх, энэ нь технологийн керамикаас хамгийн өндөр хугарлын бат бөх чанарыг эзэмшдэг. Энэ нь элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй тул хүнд ачаалал, хатуу ширүүн орчинд хэрэглэхэд тохиромжтой сонголт юм.

Si3N4 нь цахиурын давхар ислийг бодвол ус болон шүлтийн ионуудад тархах эсэргүүцэл багатай тул хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн түгээмэл идэвхгүй давхарга юм. Энэ нь бас маш сайн диэлектрик бөгөөд маш сайн дулаан дамжуулагч юм.

Si3N4-ийн гадаргууг ихэвчлэн фторын плазм ашиглан сийлдэг. SF6, CF4, CHF3 дээр суурилсан плазмуудыг ихэвчлэн ашигладаг. SF6-д суурилсан сийвэн нь анизотропик SiN гадаргууд онцгой ач тустай маш хурдан сийрэгжүүлдэг давуу талтай.

SiN CMP-д сийлбэр хийхэд ашигладаг зутан нь исэл ялгаруулалтыг багасгахын тулд маш сайн сонгомол байх ёстой бөгөөд вафель масштабын жигд бус байдлыг хадгалах ёстой. Энэ нь маш бага SiN зайлуулах хурдыг шаарддаг бөгөөд маш сайн сонгомол нитридын зутанг ашиглах замаар хийгддэг.

(Цахиурын нитридын нунтаг)