Prášok z nitridu kremíka

(prášok z nitridu kremíka)

Práškový nitrid kremíka je biela pevná látka s vysokou teplotou topenia, ktorá je chemicky inertná a termodynamicky stabilná. Je to dôležitý materiál pre širokú škálu aplikácií, ktoré vyžadujú vynikajúce mechanické vlastnosti pri izbovej teplote a vysokej teplote, odolnosť proti oxidácii a odolnosť proti tečeniu.

Prášok si3n4, známy pre svoju vynikajúcu tvrdosť a pevnosť, je ideálnym materiálom pre mechanické aplikácie, ktoré vyžadujú extrémnu pevnosť s nízkou tepelnou rozťažnosťou a dlhou životnosťou. Jeho jedinečná kombinácia vlastností z neho robí veľmi žiadanú keramiku na použitie v ložiskách, lopatkách turbín a iných konštrukčných komponentoch.

SINX STX-100 TECHNICAL CERAMIC (Si3N4) POWDER je jednou z najpokročilejších a najpresnejších technických keramik, ktoré sú dnes k dispozícii. Ponúka najlepšiu kombináciu mechanických, tepelných a elektrických vlastností akejkoľvek keramiky vo svojej triede.

Hustá a pevná, má najvyššiu lomovú húževnatosť zo všetkých technologických keramických materiálov. Je tiež odolný voči oderu a korózii, čo z neho robí skvelú voľbu pre aplikácie, ktoré zahŕňajú veľké zaťaženie a drsné prostredie.

Si3N4 je populárna pasivačná vrstva v polovodičovom priemysle, pretože má nižší difúzny odpor voči vode a alkalickým iónom ako oxid kremičitý. Je tiež veľmi dobrým dielektrikom a výborným tepelným vodičom.

Povrch Si3N4 je typicky leptaný pomocou fluórovej plazmy. Bežne sa používajú plazmy na báze SF6, CF4 a CHF3. Plazmy na báze SF6 majú výhodu vo veľmi rýchlej rýchlosti leptania, čo je obzvlášť užitočné pre anizotropné povrchy SiN.

Suspenzia použitá na leptanie v SiN CMP musí byť vysoko selektívna, aby sa minimalizovalo odstraňovanie oxidov a aby sa zachovala dobrá nerovnomernosť plátkov. To si vyžaduje veľmi nízku rýchlosť odstraňovania SiN a ideálne sa to dosiahne použitím vysoko selektívnej nitridovej suspenzie.

(prášok z nitridu kremíka)