Silicijev nitrid v prahu

(silicijev nitrid v prahu)

Silicijev nitrid v prahu je bela trdna snov z visokim tališčem, ki je kemično inertna in termodinamično stabilna. Je pomemben material za široko paleto aplikacij, ki zahtevajo odlične mehanske lastnosti pri sobni temperaturi in pri visokih temperaturah, odpornost proti oksidaciji in odpornost proti lezenju.

Prah si3n4, znan po svoji izjemni trdoti in trdnosti, je idealen material za mehanske aplikacije, ki zahtevajo izjemno trdnost z nizkim toplotnim raztezkom in dolgo življenjsko dobo. Zaradi svoje edinstvene kombinacije lastnosti je zelo zaželena keramika za uporabo v ležajih, turbinskih lopaticah in drugih strukturnih komponentah.

SINX STX-100 TEHNIČNA KERAMIKA (Si3N4) POWDER je ena najbolj naprednih in natančnih tehničnih keramik, ki so danes na voljo. Ponuja najboljšo kombinacijo mehanskih, toplotnih in električnih lastnosti katere koli keramike v svojem razredu.

Gosta in močna, ima najvišjo lomno žilavost med vsemi tehnološkimi keramikami. Prav tako je odporen proti obrabi in koroziji, zaradi česar je odlična izbira za aplikacije, ki vključujejo velike obremenitve in težka okolja.

Si3N4 je priljubljena pasivacijska plast v industriji polprevodnikov, ker ima nižjo difuzijsko odpornost na vodo in alkalijske ione kot silicijev dioksid. Je tudi zelo dober dielektrik in odličen toplotni prevodnik.

Površina Si3N4 je običajno jedkana s fluorovo plazmo. Običajno se uporabljajo plazme na osnovi SF6, CF4 in CHF3. Prednost plazme na osnovi SF6 je zelo hitra hitrost jedkanja, kar je še posebej uporabno za anizotropne površine SiN.

Gošča, ki se uporablja za jedkanje v SiN CMP, mora biti zelo selektivna, da se čim bolj zmanjša odstranitev oksida in ohrani dobra neenakomernost lestvice rezin. To zahteva zelo nizko stopnjo odstranitve SiN in se idealno doseže z uporabo visoko selektivne nitridne gošče.

(silicijev nitrid v prahu)