சிலிக்கான் நைட்ரைடு தூள்

(சிலிகான் நைட்ரைடு தூள்)

சிலிக்கான் நைட்ரைடு தூள் என்பது ஒரு வெள்ளை, உயர் உருகுநிலை திடப்பொருளாகும், இது வேதியியல் ரீதியாக மந்தமானது மற்றும் வெப்ப இயக்கவியல் ரீதியாக நிலையானது. சிறந்த அறை வெப்பநிலை மற்றும் உயர் வெப்பநிலை இயந்திர பண்புகள், ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு மற்றும் க்ரீப் எதிர்ப்பு தேவைப்படும் பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளுக்கு இது ஒரு முக்கியமான பொருளாகும்.

அதன் சிறந்த கடினத்தன்மை மற்றும் வலிமைக்கு பெயர் பெற்ற, si3n4 தூள் இயந்திர பயன்பாடுகளுக்கு ஒரு சிறந்த பொருளாகும், இது குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கையுடன் தீவிர வலிமையைக் கோருகிறது. அதன் தனித்துவமான பண்புகளின் கலவையானது தாங்கு உருளைகள், விசையாழி கத்திகள் மற்றும் பிற கட்டமைப்பு கூறுகளில் பயன்படுத்த மிகவும் விரும்பத்தக்க பீங்கான் ஆகும்.

SINX STX-100 டெக்னிக்கல் செராமிக் (Si3N4) பவுடர் என்பது இன்று கிடைக்கும் மிகவும் மேம்பட்ட மற்றும் துல்லியமான தொழில்நுட்ப பீங்கான்களில் ஒன்றாகும். இது அதன் வகுப்பில் உள்ள எந்த பீங்கான்களின் இயந்திர, வெப்ப மற்றும் மின் பண்புகளின் சிறந்த கலவையை வழங்குகிறது.

அடர்த்தியான மற்றும் வலுவான, இது எந்த தொழில்நுட்ப பீங்கான்களிலும் மிக உயர்ந்த எலும்பு முறிவு கடினத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது. இது சிராய்ப்பு மற்றும் அரிப்பை எதிர்க்கும் திறன் கொண்டது, அதிக சுமைகள் மற்றும் கடுமையான சூழல்களை உள்ளடக்கிய பயன்பாடுகளுக்கு இது ஒரு சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது.

Si3N4 செமிகண்டக்டர் துறையில் பிரபலமான செயலற்ற அடுக்கு ஆகும், ஏனெனில் இது சிலிக்கான் டை ஆக்சைடை விட நீர் மற்றும் கார அயனிகளுக்கு குறைவான பரவல் எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது. இது ஒரு சிறந்த மின்கடத்தா மற்றும் ஒரு சிறந்த வெப்ப கடத்தியாகும்.

Si3N4 இன் மேற்பரப்பு பொதுவாக புளோரின் பிளாஸ்மாவைப் பயன்படுத்தி பொறிக்கப்படுகிறது. SF6 அடிப்படையிலான, CF4 அடிப்படையிலான மற்றும் CHF3 அடிப்படையிலான பிளாஸ்மாக்கள் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. SF6-அடிப்படையிலான பிளாஸ்மாக்கள் மிக வேகமான எட்ச் வீதத்தின் நன்மையைக் கொண்டுள்ளன, இது அனிசோட்ரோபிக் SiN மேற்பரப்புகளுக்கு மிகவும் பயனுள்ளதாக இருக்கும்.

SiN CMP இல் பொறிக்கப் பயன்படுத்தப்படும் குழம்பு, ஆக்சைடு அகற்றுதலைக் குறைக்கவும், நல்ல செதில் அளவு சீரற்ற தன்மையைப் பராமரிக்கவும் மிகவும் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்டதாக இருக்க வேண்டும். இதற்கு மிகக் குறைந்த SiN அகற்றுதல் வீதம் தேவைப்படுகிறது மற்றும் மிகவும் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட நைட்ரைடு குழம்பைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம் இது அடையப்படுகிறது.

(சிலிகான் நைட்ரைடு தூள்)